- 高科技产业整合解决方案供应商Manz将参展SNEC 2012第六届国际太阳能产业及光伏工程(上海)展览会暨论坛 (展位:E3馆,310),届时将展示其最新的晶体硅太阳能电池湿制程设备:IPSG CEI 4800。该设备主要用于去除晶片背部及边缘的高掺杂层,进而产生化学边缘隔离(CEI),还能去除之前扩散过程中在晶片正面生成的磷硅玻璃(PSG)。Manz创始人兼首席执行官Dieter Manz先生说:“凭借新式的湿制程设备,我们真正填补了Manz先前在光伏制程工艺中缺失的环节。”
- 关键字:
湿制程设备 晶片
湿制程设备介绍
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