- Overview of CMP equipment market 作者/李丹博士 赛迪顾问 集成电路产业研究中心高级分析师 （北京 100048） 摘要：在芯片微细化和互连多层化的趋势下，CMP工艺是集成电路制造的核心技术，CMP设备主要用于CMP工艺中，主要实现芯片平坦化。目前，CMP设备市场主要由美国应材和日本荏原两家公司高度垄断，尤其是美国应材2017年占有CMP设备市场71%的市场份额。国内CMP设备的主要研发单位有天津华海清科和中国电子科技集团公司第
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201905 机械抛光 市场
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