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干法刻蚀 文章 进入干法刻蚀技术社区

释放MEMS机械结构的干法刻蚀技术

  • 湿法刻蚀是MEMS器件去除牺牲材料的传统工艺，总部位于苏格兰的Point35Microstructures在SEMICONChina期间...
  • 关键字： 干法刻蚀  MEMS  
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干法刻蚀介绍

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