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相移干涉技术在小角度及直线度测量中的应用

  • 摘要:应用相移干涉及Zernike多项式波面拟合技术实现对空间小角度的高精度测量,测量精度可达到0·013″。与...
  • 关键字： 相移干涉技术  小角度  直线度测量  
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小角度介绍

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