- 美国材料信息学会(ASM International)与日立国际电气(Hitachi Kokusai Electric Inc.，东京证券交易所(一部)和大阪证券交易所(一部))宣布，双方已签署一项授权协议。根据此项协议，美国材料信息学会将把原子层沉积技术专利在批次式原子层沉积领域的使用权授予日立国际电气。协议的详细条款未对外披露。
多年来，美国材料信息学会一直是原子层沉积领域的先驱，拥有大量专利，包括原子层沉积专利以及在竖炉中成批实施原子层沉积的技术专利。这一技术使得在竖炉中实施原子层沉积并同
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