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埋栅型静电感应器件研制中的外延技术

• 0 引言 　　静电感应晶体管SIT是一种结构灵敏的器件，也是具有类真空三极管特性的新型电力半导体器件，一般为常开型器件。从结构上说SIT与一般场效应晶体管FET相似，但沟道更窄、更短，具有其他半导体器件无法比拟的一系列优点，如优异的高频特性和高速开关特性，无电流集中，耐击穿强度高，驱动功率小，属于电压驱动型器件。静电感应晶体管可广泛应用于高速、高压、低功耗场合。就大功率上有高频感应加热，在高频上应用有中波广播发射机，在低功耗应用方面有叉车的速度控制器，在小功率应用方面有显示器CTR的驱动等。另外还有不停
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