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国产光刻胶 文章 进入国产光刻胶技术社区

耗时超四年迎曙光 国产光刻胶再迎重大进展

  • 继中芯国际续单ASML光刻机后,国产半导体光刻胶领域再迎喜讯。周一(8日)盘后,上海新阳公告称,经各方积极协商、运作,ASML-1400光刻机设备于今日已进入合作方北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司场地,后续将进行安装调试等相关工作。公司采购的ASML干法光刻机设备顺利交付,对加快193nm ArF干法光刻胶产品开发进度有积极影响。值得一提的是,天眼查显示,合作方北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司大股东为芯链融创集成电路产业发展(北京)有限公司,后者由北京凯世通半导体有限公司在内的26个国内半
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国产光刻胶介绍

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