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压阻式加速度传感器 文章 进入压阻式加速度传感器技术社区

基于MEMS硅微加速度传感器的设计方案

  • 基于MEMS硅微加速度传感器的设计方案-硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支，具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点，而且 该种传感器在强辐射作用下能正常工作，使其近年来发展迅速。
  • 关键字： 硅微加速度传感器  MEMS器件  压阻式加速度传感器  
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压阻式加速度传感器介绍

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