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单晶衬底 文章 进入单晶衬底技术社区

Kyma公司推高掺杂的n+型氮化镓体单晶衬底

  •   美国Kyma公司新推出高掺杂n+型氮化镓体单晶衬底,尺寸为10 ´10 mm-2和18 ´18 mm-2,同时他们也正在研发直径2英寸的氮化镓衬底,下一步是进入量产阶段。这次Kyma新研制的高掺杂n+型氮化镓衬底的电阻率小于0.02欧姆厘米,导电能力得到极大提高,电阻率比他们以前的n型氮化镓衬底低两个数量级。此外,Kyma也成功开发了高掺杂n+型氮化镓衬底晶片,n型载流子浓度达到了6´1018 cm-3,对应电阻率仅为0.005欧姆厘米。
  • 关键字: Kyma  单晶衬底  
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单晶衬底介绍

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