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初体验体 文章 进入初体验体技术社区

IEDM的初体验

  • 历史长达53年的IEDM（InternationalElectronDevicesMeeting）是IEEE旗下的王牌会议之一。微系统所的研究人员将STI（浅槽隔离）技术加以变化后运用到单晶圆MEMS的制作上，发展出一种沟槽-侧墙（Trench-Sidewall）技术。
  • 关键字： 初体验体  
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初体验体介绍

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