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OLED 关键工艺
- 氧化铟锡(ITO)基板前处理(1)ITO表面平整度ITO目前已广泛应用在商业化的显示器面板制造,其具有高透射率、低电阻率及高功函数等优点。一般而言,利用射频溅镀法(RF sputtering)所制造的ITO,易受工艺控制因素不良而导
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