- 1 引言 随着光通信技术的迅速发展,MEMS光开关由于具有插入损耗和串话小、消光比高、稳定性好、透明性和可扩展性好、易于集成、偏振不灵敏等优点,将成为核心光交换器件的主流。其静电驱动是目前广泛研究的一
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MEMS 光开关测量平台
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