- 在微波设备微放电效应的研究中，低能电子的作用通常被忽略。本文重点研究了低能电子对单面介质加载微波部件微放电的影响，基于蒙特卡洛算法，建立了单面介质加载微波部件的微放电的模型，模拟了单面介质加载微波部件微放电的规律，利用数值的方法对波导中静电场进行求解并对电子的轨迹进行跟踪。通过对比经典的Vaughan二次电子发射模型（考虑低能电子）和Rice模型（没有考虑低能电子）的模拟结果，获得了低能电子对单面介质加载微波部件微放电的影响。
- 关键字：
低能电子 微放电 介质加载 202110
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