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ixh500h 文章 进入ixh500h技术社区

Edwards推出新型iXH500H干泵系列

  • 全球领先的真空和尾气处理设备及服务供应商Edwards公司扩展其广受欢迎的应用于严苛工艺的iXH产品系列，最新推出iXH500H系列干泵。新的500m3/h干泵系列针对需要较高气体流量和灵活泵温范围的平板显示器、太阳能和先进半导体工艺而优化，具有较低的能耗和较长的平均维护间隔时间(mean time between servicing， MTBS)，从而显著降低了拥有成本，同时具备iXH450系列的小占位面积和氢气抽取能力。
  • 关键字： Edwards  半导体  iXH500H  
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ixh500h介绍

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