- Entegris, Inc.，一家为先进制造环境提供良率提升材料和相关解决方案的领先企业，日前发布了 VaporSorb™ 系列气体分子污染 (AMC) 过滤器的新产品。此款新型的“多合一”单过滤器可在半导体制造的化学机械研磨 (CMP) 工艺中去除关键 AMC。领先的过滤器品牌 VaporSorb 在半导体制造的关键步骤中主要用于洁净室环境和生产机台，是面向 CMP 生产机台的首款过滤器，可抵御弱酸以及其他污染物。
此款新型过滤器专为 CMP 机台设计，可为
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Entegris 半导体 VaporSorb
- Entegris Inc.是一家为先进制造环境提供良率提升材料和解决方案的领先企业,公司今日发布了 VaporSorb 系列气体分子污染 (AMC) 过滤器的衍生产品。VaporSorb 是领先的过滤器品牌，在半导体制造的关键步骤中主要用于洁净室环境和生产机台。VaporSorb 过滤器已发展为捕获气体有机物、碱基类和强酸的一体式过滤器。新型 VaporSorb TRK 添加了独特材料，是首款不仅能够捕获三大核心污染物，而且还能捕获第四类污染物(定义为弱酸的一组污染物)的过滤器。
此款新型过滤器
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Entegris VaporSorb 过滤器
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