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EUV光源厂商Ushio从Gigaphoton撤资

  • 　　日本小松公司(Komatsu)与Ushio公司近日决定终止两家公司有关EUV光刻机光源合资厂商Gigaphoton项目的合资合同。小松将从Ushio公司手中收购Gigaphoton余下的50%股份，这样Gigaphoton将成为小松的独资公司。 　　　
  • 关键字： Ushio  EUV光源  
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