- KLA-Tencor宣布推出 TeraScanHR 系统 – 业内首套新一代 45 纳米生产级光掩膜检测系统。45 纳米及以上节点生产中缺陷尺寸小，并采用极为复杂的 OPC*，这要求检测设备具有极高的分辨率，TeraScanHR 满足了这一要求，同时大大改进了生产效率，客户不仅可以获得 45 纳米关键层生产的最高灵敏度，而且还可降低非关键层和芯片生产的单位检测成本。
“我们新的 TeraScanHR 系统为光掩膜制造商带来了非凡的新技术和经济效益，可有效降低多代光掩膜生产的成本，其中包括异常复
- 关键字：
KLA-Tencor TeraScanHR 测量 测试 光掩膜检测系统
terascanhr介绍
您好，目前还没有人创建词条terascanhr!
欢迎您创建该词条，阐述对terascanhr的理解，并与今后在此搜索terascanhr的朋友们分享。
创建词条
关于我们 -
广告服务 -
企业会员服务 -
网站地图 -
联系我们 -
征稿 -
友情链接 -
手机EEPW
Copyright ©2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《电子产品世界》杂志社 版权所有 北京东晓国际技术信息咨询有限公司
京ICP备12027778号-2 北京市公安局备案：1101082052 京公网安备11010802012473
