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应用散射技术测试复杂Spacer结构

  • 长久以来，散射技术已充分展示其精准测量简单结构的能力，例如对浅沟槽隔离结构（STI）和栅极模块的量测。但是，IC制造商现在需要监测和控制越来越复杂的结构。Spacer是目前散射技术正在处理的复杂结构之一。Spacer会
  • 关键字： Spacer  散射  测试    
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