- 11月2日,有机金属化学汽相沉积系统(MOCVD)设备大厂美国维易科(Veeco)宣布,美国纽约东区地方法院同意了Veeco公司针对SGL Carbon,LLC(SGL)的一项初步禁令请求,该公司是中微半导体设备有限公司(AMEC)的晶圆承载器供应商。据统计,目前国内前三大LED芯片厂商今年采购的机台里,Veeco和中微半导体各占一半。业内人士评论称,此次禁令可能会让中微损失不少。
该禁令禁止SGL出售供采用了Veeco专利技术的无基座金属有机化学气相沉积系统(MOCVD)使用的晶圆承载器,包括
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Veeco SGL
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