- 为众多半导体与微机电系统 (MEMS) 厂商提供所需的解决方案,蚀刻与沉积设备及技术的领先供应商,memsstar Limited今日推出用于生产微机电系统 (MEMS)的蚀刻与沉积工艺工具 ORBIS™ 平台。ORBIS 系统可实现业界最高端的单晶圆工艺,满足高端 MEMS 生产在均匀性与重复性方面的要求。
“移动设备、‘物联网’与兆级传感器的迅猛增长加快了 MEMS 技术的采用。” memsstar 的首席执行官 Tony McKi
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ORBIS MEMS
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