- 作为转移微细图形的工具,掩模版是TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)制造过程中必不可少的材料,对TFT产业至关重要。由于当前掩模版市场主要被国外企业所垄断,我国要发展TFT产业,掩模版的国产化显得尤为重要。
掩模版是产业链重要环节
和集成电路的生产一样,TFT-LCD在制造过程中也需要利用光刻工艺把沉积在基板上的薄膜(金属、介质或透明导电玻璃等)制作成一定的图形,这种图形转移的母版就是掩模版。对于一种产品而言,其生产过程中有多少次光刻就需要多少张不同图形的掩模版。
TFT-LCD与
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Micronic TFT-LCD 掩模版
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