- 近日，由北方微电子开发的ELEDETM330高密度等离子ICP刻蚀机完成组装调试，正式交付客户使用。ELEDETM330是北方微电子半导体刻蚀技术在LED领域的成功扩展，该设备的成功上线，标志着国产LED刻蚀设备已得到主流生产线的认可，使我国高端LED设备的国产化水平得到了新的提升。
北方微电子多年来一直致力于半导体高端工艺装备的研发与制造。2009年北方微电子借助半导体刻蚀设备领域积累的丰富经验，开发了专为LED生产领域的刻蚀应用而全新设计的感应耦合高密度等离子体刻蚀机。作为我国首台直接面向L
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北方微电子 LED刻蚀机
led刻蚀机介绍
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