- 精密真空产品和尾气处理系统领先制造商和相关增值服务领先供应商Edwards集团有限公司(纳斯达克代码：EVAC)已经推出了针对应用材料公司制造平台的加载互锁和输送腔体应用的全新集成式真空泵IPUP2。该第二代泵在加载互锁抽真空时间、能耗和维护要求方面具有明显优势，这些先进性能结合起来为其带来同类最佳的性能和拥有成本。
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Edwards IPUP2
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