- Crossing Automation公司(www.crossinginc.com)今天宣布，其开发的SpartanTM设备前端模块(EFEM)已被一家顶尖的光刻与测量设备产商选择作为第二代测量工具。Crossing是一家向大规模半导体设备产商提供高效且能有效降低成本的前端与后端工艺自动化解决方案的领先供应商。
Spartan EFEM之所以被选中，是因为一方面Crossing能对其进行个性化设计来满足客户的特定需求，另一方面它的测试平台容易实现软件集成。此外，Crossing还能提供Expre
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CrossingAutomation Spartan EFEM
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