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什么是三维微电子机械系统

  • 微机电 (MEMS) 技术在电子产品中的地位愈来愈重要，不论是在汽车、工业、医疗或军事上需要用到此类精密的元器件，在信息、通讯和消费性电子等大众的市场，也可以看到快速增长的MEMS应用。
  • 关键字： 三维微电子机械系统  MEMS  CMOSMEMS  
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cmosmems介绍

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