- 今天，KLA-Tencor Corporation推出两款先进的量测系统，可支持 16 纳米及以下尺寸集成电路器件的开发和生产：Archer™ 500LCM 和 SpectraFilm™ LD10。Archer 500LCM 套刻测量系统在提升成品率的所有阶段提供了准确的套刻误差反馈，可帮助芯片制造商解决新的图型套刻问题，例如多层光刻和隔离层掩膜分割。通过对薄膜厚度和应力进行可靠、准确的测量，SpectraFilm LD10 薄膜测量系统能对 FinFETs、3D NAND 和
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KLA-Tencor Archer
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