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3-d轮廓 文章 进入3-d轮廓技术社区

3-D轮廓测量中相位解包裹应用

  • 在对微/纳机电系统(micro/nanoelectrome-chanicalsystem，MEMS/NEMS)结构的特性参数进行测量和MEMS/NEMS可...
  • 关键字： MEMS  NEMS  3-D轮廓  CCD  
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3-d轮廓介绍

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