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光谱共焦的测量原理及厚度测量模式

发布人:立仪科技时间:2022-06-20来源:工程师

光谱共焦位移传感器通过一束白光(或多波长混合光) 经过一个小孔,经过镜头将不同的波长聚焦到光轴上, 色散地形成一条彩虹状分布带,照射到样品上,部分反射光反射回去。没有照射在光轴与物体表 面交点的光经过分光部件, 照射在另一个小孔周围被 阻挡,无法照射到光谱分析仪,不会干扰测量。照射在光轴与物体表面交 点的光经过分光部件,通 过小孔照射到光谱分析仪。根据波长计算就可以获得镜头到被测物距离。今天,小编介绍光谱共焦位移传感器检测原理和厚度检测模型。


光谱共焦检测技术分析特定表面上不一样波度的聚点位置,以实现精确的尺寸检测和微观形态分析。根据该检测原理,特定波度的可以聚点在样品的前面,而对于透明材料样品,两种不一样波度的可以聚点在样品的前面和后面。这是光谱共焦点提供的两种检测模式(位移检测模式、厚度检测模式)。


厚度检测模式:

检测玻璃、透镜等透明样品时,波度不一样的两条线可以聚点在样品的前后表面,获得样品折射系数参数后计算样品的厚度值。共焦检测较大,与卡尺等传统接触检测工具相比,具有所有非接触检测的优点,也具有通过单侧检测获得样品厚度值的特性。

折射系数直接影响厚度检测的数据精度,因此在检测开始时应先检查样品的返射率。返射率可以参考相似材质的数值,但为了获得更精确的厚度检测结果,必须使用返射率计检测样品的返射率。


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关键词: 光谱共焦

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