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ASML下一代EUV光刻机曝光

发布人:wxhxkj01时间:2021-10-09来源:工程师
9月2日,据WIRED报道,美国零部件部门已经开始为ASML的下一代EUV光刻机制造关键部件,该机器有望让摩尔定律至少再延续10年。霍尔元件等行业有望也能争取到行业技术发展的红利。
 
位于美国康涅狄格州郊区的一间大型洁净室里,工程师们已经开始为一台空前强大的机器制造关键部件,而这台机器有望让芯片制造行业沿着摩尔定律至少再走上10年时间。
 
该光刻机组件使用的新技术能够极限降低紫外线波长,从而尽可能缩小所制造的芯片元件尺寸(线宽),从而提高单位面积的性能。
 
这些组件将在半年后被运输、组装成为ASML的新一代EUV光刻机——一座体积有一辆公共汽车那么大、造价1.5亿美元的庞然大物。
 
 
整个机器包含10万个部件和2公里长的电缆。为保证运输安全,每台机器的发货需要40个集装箱、3架货机或者20辆卡车才能完成,当前只有台积电、三星和英特尔等少数公司才能买得起这种机器。
 
“这真是一台不可思议的机器,”麻省理工学院研究新型晶体管架构的教授Jesús del Alamo说。“这绝对是一款革命性的产品,是一项突破,将给芯片行业带来新的生命......我认为摩尔定律仍将持续相当长一段时间。”
 
在康涅狄格州的工厂里,工程师们将一块巨大铝材雕刻成框架,最终让光罩以纳米级的精度在其间移动,反射极紫外光束。这些光束利用几面镜子来回反射,以惊人精度反复修饰打磨,在硅片上蚀刻出只有几十个原子大小的特征图案。
 
据悉,造好的组件将于2021年底运往荷兰的维荷芬(ASML总部及制造基地),然后在2022年初安装到新一代EUV光刻机的第一台原型机中。
 
英特尔表示,预计将在2023年下线第一批芯片。凭借比以往任何机器更精密的制造能力,每颗芯片的晶体管规模都将再上一个台阶,这台机器在未来几年所生产的芯片都将创造历史。
 
乔治敦大学研究芯片制造的研究分析师威尔·亨特(Will Hunt)表示,EUV光刻机的每个部件都“极其复杂,复杂得令人吃惊”。“没有阿斯麦的机器,就不可能制造出先进芯片。”“很多东西都要经过年复一年的调整和试验,而这些都是非常困难的。”
 
“说实话,没有人真的想用极紫外光,”行业研究公司Real World Technologies芯片分析师David Kanter说。“它比原计划晚了20年,超出预算10倍。但如果你想制造非常致密的结构,它是你唯一的工具。”
 
某种意义上,光刻机就是人类通往未来的工具之一。
 
就像戈登·摩尔在1975年的演讲上提到的,“当一颗芯片上有了1万个晶体管,人们有什么不能做呢?”


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