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mems传感器 文章

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超声波物位检测仪的原理及应用

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一种新型的转子旋转速度大小及方向的测量装置

无线传感器网络技术研究

固态压阻压力传感器应用指南

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变送器产品分类及选择分析

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mems传感器介绍

MEMS(Micro-Electro-mechanical Systems)是微机电系统的缩写。MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分,它是在融合多种微细加工技术,并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。 MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业,采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光 [ 查看详细 ]

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