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mems传感器 文章

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光纤传感器的今日与发展

一种新型悬浮陀螺式质量流量计的研究

传感器技术在生产实践中的应用

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气体传感器在气体泄漏事故处置中的应用

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ABB电压传感器的应用

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mems传感器介绍

MEMS(Micro-Electro-mechanical Systems)是微机电系统的缩写。MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分,它是在融合多种微细加工技术,并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。 MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业,采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光 [ 查看详细 ]

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