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mems传感器 文章

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低压驱动RF MEMS开关设计与模拟--用于MEMS开关缺陷的改进

解析Microvision单镜面MEMS芯片技术

一种新型MEMS微波功率传感器的设计与模拟

将MEMS传感器用于各种创新的消费类产品设计解析

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用可编程模拟电路实现MEMS陀螺仪测量系统

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mems传感器介绍

MEMS(Micro-Electro-mechanical Systems)是微机电系统的缩写。MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分,它是在融合多种微细加工技术,并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。 MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业,采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光 [ 查看详细 ]

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