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应用材料公司推出SmartMove系统

  •   近日,应用材料公司宣布推出SmartMove系统,这是半导体产业第一个面向非自动化200mm和300mm芯片制造厂的全面硅片管理解决方案。SmartMove系统整合了应用材料公司已经通过生产验证的ActivityManager产流程自动化软件和来自Intellion公司的LotTrack技术,后者是一个创新的基于无线电和超声波频率的硅片盒跟踪系统。   通过SmartMove技术,客户的制造执行系统会持续收到硅片盒的确切位置信息,“需要注意”和“下一步去哪里&rd
  • 关键字: 应用材料  半导体  SmartMove  200mm  300mm  
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