激光微加工系统及基于DSP+FPGA的控制单元的研究
在经过对上面两个误差的修正后，选用硅（100）进行了部分微加工的实验。通过光学显微镜对结果进行观测可知，系统实现了较好的微加工效果。在空气环境下，采用20 kHz的激光频率，获得激光输出能量为150 μJ，在2 mm/s的运动速度下加工出微六边形，如图6所示。本文引用地址：http://www.eepw.com.cn/article/191783.htm
为了满足微加工的需要，设计了纳秒脉冲激光微加工系统，尤其是实现了具有图形解析和高速数据处理功能的控制单元，解决了现有设备的关键问题，使加工系统在操作性和精度上都有很大提升，为下一步工作的展开奠定了良好的基础。
参考文献
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[3] 张永强，陈武柱，张旭东.基于PC的开放式多功能激光加工数控系统[J].应用激光，2004，24(6)：368-370.
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