基于ARM的扩散／氧化控制系统的设计
在本系统中使用晶闸管控制的电阻丝给扩散／氧化炉加温，为了防止市电对系统的影响，必须使用光电隔离器隔离本系统与市电的连接。
图2 ILC7135 A／D转换原理图
2.3 气路系统和推拉舟系统的硬件设计
在扩散／氧化工艺中，根据工艺的不同需要通入4种不同种类和质量的气体。所以在气路控制系统中，需要4路开关量控制4种不同气体的通断，以及4路模拟量控制气体质量流量计。质量流量计能够输出4 mA～20 mA或0～5 V的气体质量信号，在控制精度要求不高的系统中，可以不理会质量流量计输出的气体质量信号，为了保证控制精度，可以采集气体质量信号。
在4路开关量控制中，可以使用继电器控制通断。
在4路模拟量控制气体质量流量计中，需要4路D／A转换。根据控制精度的要求，选用12位的D／A芯片DAC1230，因为控制信号为电压信号，所以需要把电流信号转换成电压信号。图3即为气路控制系统D／A转换原理图。
图3 气路控制系统D／A转换原理图
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