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激光位移传感器在精密测厚中的应用

memsstar的MEMS征程

  • 　　MEMS是多学科交叉融合的前沿技术，在后摩尔时代，MEMS正在凭借其层出不穷的新应用而大放异彩。MEMS以其微型化的优势，在消费电子、医疗电子和汽车电子等方面有着广阔的应用前景。 　　
  • 关键字： memsstar  MEMS  

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mems 介绍

MEMS是微机电系统的缩写。MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。 MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几 [ 查看详细 ]

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