- 微电子技术研究机构IHP-LeibnizInstitute以及德国航太研究中心(DLR),合作开发了一种尺寸小巧、具成本效益的气体质谱分析(gasspectroscopy)感测系统,运作于245GHz频率;而该系统也是全球第一套以矽锗(SiGe)晶片制作发送与接收器的系统。
IHP-Leibniz表示,该机构开发了一种具成本效益的方法来制造所需的SiGe半导体元件──也就是整合了天线的发送器与接收器晶片,运作频率再238GHz~252GHz;由于那些元件是采用标准矽制程技术,可利用现有半导体
- 关键字:
SiGe芯片 气体分析仪
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