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rpcvd技术 文章 进入rpcvd技术技术社区

BluGlass通过RPCVD技术减少GaN膜生长杂质

  • 澳大利亚的BluGlass公司声称使用他们的低温远程等离子体化学气相沉积（RPCVD）技术可以产生理想纯度的氮化镓（GaN ...
  • 关键字： BluGlass  RPCVD技术  GaN膜  生长杂质  
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rpcvd技术介绍

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