- 应用材料公司推出全新的Applied AKT-20K PX PECVD 系统,用于制造最先进的智能手机和平板电脑中所采用的高性能有源矩阵OLED和TFT-LCD显示屏。通过采用LTPS关键技术,该系统可将高度一致的薄膜沉积至1.95平方米的玻璃板上——该玻璃板是以往标准尺寸的三倍。这将使显示屏制造商大幅提高产量,降低成本,从而加快消费电子产品的屏幕朝更大尺寸、更高精度的方向转变。
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应用材料 PECVD系统
pecvd系统介绍
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