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mems压力传感器芯片 文章 进入mems压力传感器芯片技术社区

上海微系统所联合国家重点实验室，共同研发全球最小、成本最低MEMS压力传感器芯片

  • 近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室李昕欣老师课题组在 Journal of Micromechanics and Microengineering 期刊上发表最新的 MEMS 传感器 研究成果——利用无疤痕微创手术（MIS）制造超小型 MEMS 压力传感器。
  • 关键字： 上海微系统所  MEMS压力传感器芯片  国家重点实验室  
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mems压力传感器芯片介绍

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