- Inversion Semiconductor Inc.（加利福尼亚州旧金山）是一家 2024 年的初创公司，计划利用粒子加速为下一代光刻技术开发更亮、更可调的光源。该公司表示，与现有系统相比，它将能够以高达 15 倍的速度制造芯片，并且具有更精细的功能。Inversion 加入 Lace Lithography 是一家初创公司，希望取代或至少被视为成熟的光刻市场领导者 ASML Holding NV 的替代品。当然，这两家初创公司都看到了使用 13.5nm 波长的极紫外光进行光刻胶闪光曝光的进一步开发的
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Inversion Semiconductor 光刻技术
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