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微米级心跳：探索MEMS振荡器的微观世界

• 在现代电子设备中，精确的时钟信号如同人体的心跳，是确保各个部件同步运作、数据准确传输的关键。传统的石英晶体振荡器长期主导着时钟信号的生成，但随着科技的进步，一种新兴的技术—— MEMS（微机电系统）振荡器正迅速展露其独特优势。今天，就让我们一同探索MEMS 振荡器的奇妙世界，了解其基本原理和卓越特性。MEMS 谐振器基本原理MEMS 振荡器的核心是一个微小的机械谐振结构，通常由硅等材料制成。这个微机械结构的尺寸通常在微米甚至纳米级别，肉眼难以直接察觉。其工作原理基于静电驱动和
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