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高量程 文章 进入高量程技术社区

一种新型高量程微加速度传感器侵彻测试

  • 1 引言
    高量程微机械压阻式加速度传感器在冲击测试、军用引信中运用相当广泛。可靠性研究是微电子机械系统 MEMS产业化的关键，对于微加速度传感器更是如此。由于应用环境的特殊性，高量程微加速度传感器必须具有
  • 关键字： 测试  传感器  加速度  高量程  新型  传感  
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高量程介绍

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