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碳化硅单晶 文章 进入碳化硅单晶技术社区

浙大联合实验室制备出厚度达100 mm碳化硅单晶

  • 近日,浙大杭州科创中心官微发文称,浙江大学杭州国际科创中心(简称科创中心)先进半导体研究院-乾晶半导体联合实验室(简称联合实验室)首次生长出厚度达100 mm的超厚碳化硅单晶。文章指出,为提升碳化硅晶体厚度,联合实验室开展了提拉式物理气相传输(Pulling Physical Vapor Transport, PPVT)法生长超厚碳化硅单晶的研究(图1a)。   source:先进半导体研究院采用提拉式物理气相传输法,联合实验室成功生长出直径为6英寸(即150mm)的碳化硅单晶,其厚度
  • 关键字: 浙大  碳化硅单晶  
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碳化硅单晶介绍

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