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测试方法p+-si外延层腐蚀速率掺杂浓度掺 文章 进入测试方法p+-si外延层腐蚀速率掺杂浓度掺技术社区

掺硼p+-Si外延层厚度的测试方法

  • 0引言Si外延层厚度的测量方法有多种，主要包括称重法、层错法、磨角染色法、解理法和红外干涉法。这些方法各具特点与适用范围，例如，采用红外干射法进行测量时，要求衬底表面对入射光具有足够的反射能力。半导体材料对红外...
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测试方法p+-si外延层腐蚀速率掺杂浓度掺介绍

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