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晶体掩膜质量控制检 文章 进入晶体掩膜质量控制检技术社区

晶体和掩膜质量控制检测

  • 在半导体制造过程中，合格率影响成本，因此制造商从晶圆到包装IC多步骤进行产品检测，以尽早发现缺陷。随着光刻技术几何尺寸越来越小，要求检测系统能够检测深度不断增加的深亚微米尺度（如，45nm、32nm、22nm......）。极端...
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晶体掩膜质量控制检介绍

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