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新型光学加速度传感器动力学性能设计

• 　　引 言 　　动力学振动系统是众多惯性传感器中的重要组成部分，其参数的选取决定了传感器的性能的优劣。针对基于菲涅耳衍射微透镜的新型光学加速度传感器设计了一种简单实用的敏感加速度的振动系统，它是由一个微弹性机械结构连接在外框架上构成。微弹性机械结构不仅是微型加速度传感器重要组成部分，而且，在微型驱动器、微位移计、微陀螺仪及其他惯性传感器中也有着重要的应用，在微机电系统(MEMS)中发挥着重要的作用。目前，MEMS中类似于微弹性机械结构的敏感装置主要有硅悬臂梁、直角弹性结构及结构更复杂的硅弹簧等。微弹性机
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