叙述了在微工程研究领域有代表性的微机电系统(MEMS)技术特点，介绍了MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS加速度计等典型的MEMS产品，概述了MEMS基础理论研究进展以及国外对MEMS陀螺仪、MEMS加速度计的研究和发展现状，分析了MEMS技术在飞航导弹等飞行器上的应用优势。
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优势 应用 发展 技术 MEMS
a.可提高信噪比。在同一个芯片上进行信号传输前可放大信号以提高信号水平，减小干扰和传输的噪声，特别是同一芯片上进行A/D转换时，更能改善信噪比。b.可改善传感器悸性能。因这种传感器集成了敏感元件、放大电路和
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优点 主要 传感器 MEMS
前言:MEMS是Micro Electro Mechanical System，的英文缩写，也叫微电子机械系统.它的出现可追溯到19世纪.20世纪60年代美国人首先研发出了结晶异方向腐蚀、阳极键合等早期的基本微加工技术。到了70年代，也是美国人提
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应用 技术 MEMS
根据信息及分析公司IHS(纽约证券交易所：IHS)的IHS iSuppli MEMS专题报告，中国手机和平板电脑制造商在2012年使他们的微电子机械系统(MEMS)运动传感器采购份额增加了一倍，显著地反映了这些公司在全球市场中的不断上升。
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IHS MEMS 手机 平板电脑
根据信息及分析公司IHS(纽约证券交易所：IHS)的IHS iSuppli MEMS高价值MEMS市场追踪报告，高价值微电子机械系统(MEMS)市场去年增长疲软，其主要原因是主流医疗电子和工业部门疲软。
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IHS 机械系统 MEMS
从可以记录心率的智能手表，到可以追踪身体活动的智能臂带，可佩戴电子产品与健康监控设备正在日益吸引关注自身健康的消费者兴趣，用于这些产品的MEMS传感器的出货量将在短短五年内增长三倍以上。
据IHS iSuppli公司，从2000万美元左右的稳定基础开始起步，预计可佩戴电子产品与健康监控设备中的MEMS运动传感器营业收入今年将增至3100万美元，2014年上升33%至4130万美元。2015年将进一步增长47%至6080万美元。
未来五年中，最大增幅将出现在2016年，届时年度营业收入将跳增
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MEMS 运动传感器
据IHS iSuppli公司的MEMS专题报告，苹果与三星电子是2012年手机与平板电脑MEMS动作传感器的最大买家，合计控制了将近五分之三的市场，因此在与供应商谈判价格时握有巨大的筹码。
在采购动作传感器方面，苹果与三星都远远领先于诺基亚、LG电子、HTC、索尼和摩托罗拉等对手。苹果这方面的支出是4.224亿美元，市场份额是31%。三星的支出是3.408亿美元，市场份额是25%。这两家合计占有56%的份额，合计支出达到7.632亿美元，让其它厂商望尘莫及。苹果与三星以外的买家包括中国的灰市手机
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三星 MEMS
横跨多重电子应用领域、全球领先的半导体供应商，全球最大的运动、环境、音频和微射流MEMS(微机电系统)技术供应商意法半导体(STMicroelectronics，简称ST;纽约证券交易所代码：STM)宣布，其美国子公司向美国国际贸易委员会(ITC)起诉，指控InvenSense所有MEMS产品以及其两个客户Black and Decker与Roku的产品侵犯意法半导体的五项专利权，请求国际贸易委员会对此案展开调查并发布禁止令，限制InvenSense的陀螺仪和加速度计等侵权产品及其客户的含有Inven
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ST MEMS
拥有模拟和数字领域的优势技术、提供领先的混合信号半导体解决方案的供应商 IDT®公司 (Integrated Device Technology, Inc.; NASDAQ: IDTI) 日前推出业界首款差异化MEMS振荡器，具有100飞秒(fs)典型相位抖动性能和集成的频率裕量设定能力。
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IDT 振荡器 MEMS
尽管去年不利的宏观经济环境冲击了全球半导体产业，但中国MEMS市场却逆势增长了19%，达到19亿美元。消费者热捧装备MEMS器件的移动产品，尤其是智能手机与媒体平板。
据IHS iSuppli公司中国研究部门的报告，今年中国MEMS采购金额将增长到23亿美元，2016年达到30亿美元，复合年度增长率达13.4%。图7所示为IHS对于中国MEMS传感器消费情况的预测。
图7：中国MEMS消费预测 (以百万美元计)
智能手机、平板电脑与其它移动设备销售畅旺，正
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MEMS 智能手机
MEMS(微型机电系统)麦克风外形较小，与目前广泛采用的驻极体麦克风相比，具备更强的耐热、抗振和防射频干扰性能...
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MEMS 麦克风 声学性能
多传感器集成化在现阶段对于MEMS制造工艺依然是不小的挑战。近年来以陀螺仪、加速度计、压力传感器为代表的MEMS器件得到了快速发展，随着生活应用的不断丰富与提高，也需要更多的传感感测功能，多集成度的MEMS器件逐渐受到青睐，众多厂商推出六轴/九轴/十轴的MEMS器件。究竟在未来多集成度MEMS器件和单纯MEMS器件哪个会是主流呢?
MCU+Sensor组合VS单纯MEMS传感器模块
智能手机与平板是驱动今年增长的关键力量，这些产品中很多已经具有3轴加速计、3轴陀螺仪、麦克风、立体声波滤波器
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传感器 MEMS
据IHSiSuppliMEMS特别研究报告，今年用于手机和平板的MEMS运动传感器收入将达15亿美元，同比2012年的13亿美元增长13%。虽然相比于2012年21%、2011年85%的增长有些下滑，但和大多数电子元件不温不火的增长比起来，这仍然是一股强劲的增长。
2013年之后，还将有两年市场会以两位数增长，之后开始放缓，到2016年，市场收入将达22.1亿美元。届时，将有超过60亿的运动传感器用于手机和平板，多于2011年的16亿。
IHSMEMS与传感器首席高级分析师Jé
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智能手机 传感器 MEMS
Tessera Technologies, Inc.(纳斯达克上市代码：TSRA)的全资子公司，DigitalOptics 公司(DigitalOptics 或 DOCTM)，日前宣布推出用于智能手机的微机电系统(MEMS)自动对焦摄像头模块 mems|cam™。
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DigitalOptics 嵌入式 mems|cam DOC
1引言微机电系统（MEMS）是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至...
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MEMS 微针阵列 生物医学
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