- 法国的市场研究机构Yole Development预期，明年MEMS设备产业表现将持平，不过在惯性MEMS组件、RF开关、能量采集与微反射镜(micromirrors)等方面仍有技术创新的空间。
在Yole Development针对全球MEMS设备与材料市场所做的最新报告中，预期MEMS量产工具产业在2009~2010年间的表现持平，不过业者的MEMS设备研发活动仍将积极，以因应市场2011年的大幅成长。预期到2012年，MEMS设备市场规模可达到5亿美元。
Yole指出，MEMS量产技
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微反射镜 MEMS RF开关
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