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mems开关 文章 进入mems开关技术社区

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mems开关介绍

MEMS开关就是MEMS技术的具体应用。顾名思义,开关就是来控制电路通断状况的，高效、快速反应、准确、重复使用频率、高可靠性是现代电路系统对开关的特殊要求。MEMS开关的研究始于1979年IBM的K.E.Peterson，随后经过了二十几年的发展，由于薄膜的柔软和变形，MEMS开关始终没有取得人们预期的成绩。随着通讯频率的不断增高，现有的半导体开关因不能满足频率的升高而失去开关能力。MEMS开关的 [ 查看详细 ]

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